聚焦离子束系统可进行样品切割和成像,但所需束斑直径不同,为什

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该情况的原因包括成像质量、加工速度、样品损伤、表面粗糙度和应用需求。
1、成像质量：小束斑提供更高的成像分辨率，适用于需要清晰细节的微观结构分析。
2、加工速度：大束斑可以提高材料去除率，适合快速切割或大面积加工。
3、样品损伤：小束斑减少热损伤和机械损伤，适用于易损或敏感材料。
4、表面粗糙度：小束斑切割后表面更光滑，而大束斑可能导致表面粗糙度增加。
5、应用需求：不同的科学和工程应用对样品处理的精度和速度有不同的要求，因此需要调整束斑直径以满足这些需求。

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